预计在今年内会跟进下单High—NA量产型EUV光刻机
来源:C114通信网 发布时间:2022-01-20 18:47 作者:C114通信网 阅读量:7623
据台媒报道,英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机,为业界首家这台光刻机型号为High—NA量产型EUV光刻机EXE:5200,是业界最强的光刻机,此刻尚未面世
根据消息显示,台积电此前已经向ASML采购High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000,预计在今年内会跟进下单High—NA量产型EUV光刻机。
此前,英特尔确定自己是ASML的High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000的第一个买家。报告期内,华卓精科营收呈增长趋势,2018年,2019年,2020年营收分别为8570万元,21亿元,52亿元。。
据ASML透露,High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000将在2024年前出货,在手订单已达5台量产型EUV光刻机EXE: 5200将在2024年推出,支持客户的后续量产计划这款光刻机瞄准了2025年后晶圆制造的最新工艺节点,例如2nm工艺
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